精密定位機構包含多個關鍵元件。定位精度的需求多樣化，涉及多種功能和精度，因此選擇合適的組件組合尤為重要。選擇的依據不僅是元件的優劣，而是其是否能滿足特定功能和精度的要求。
此外，控制驅動裝置在提升定位系統精度中扮演著至關重要的角色。提升系統精度不僅需要提高個別元件的性能，更重要的是對整個系統進行全面優化和設計。
傳動機構中，傳送螺桿是最常使用的元件之一。其精度覆蓋範圍廣泛，從經濟型螺絲到高精度的方形螺桿和靜壓螺桿等不等。
在精確定位的應用中，壓電元件、線性馬達等直驅或摩擦驅動裝置有多個實用例子。儘管市場上存在多種傳動機構元件，但在選擇時需考慮成本、長期穩定性、行程、剛性、負載能力和速度的平衡，以及控制的難易程度和使用便捷性。在這些因素中，滾珠螺桿因其多項特性而被廣泛應用。
導引機構也依賴於各種元件，其中動壓導引是最常見的形式。然而，在當前對高精度和高速度的要求下，靜壓導引和滾動導引的應用也在增加，這是因為它們能夠減少遊隙、摩擦力變化、低速時的粘滑現象及高速運行的耐久性問題。此外，在特定環境下，如真空條件中，磁力懸浮導引的應用也逐漸變得實用。
