光學尺x雷射干涉儀補正x精度

光學尺的精度可以達到0.1um=0.0000001mm  (價格&精度成正比)
雷射干涉儀的補正，最終精度達到5um(0.000005mm)最算不錯了。

一看就知道光學尺大勝!!還要比什麼!?

1.如果機構本身的精度(響應)不足，使用光學尺，會更差。
命令跟實際誤差太大，持續從光學尺回授來補正發送的命令值。

2.雷射干涉儀補正屬於命令發送前補正，光學尺是命令動作完成後回授補正。
雷射干涉儀補正是先知先覺。
光學尺是後知後覺。

結論：
1.雷射干涉儀 適合在成本較低，精度要求在10um左右的機台。
2.使用光學尺之前，還是需要用雷射干涉儀來補正，來提高命令的精度，
再利用光學尺回授來修正位置。