2011年11月11日 星期五

光學尺x雷射干涉儀補正x精度

光學尺的精度可以達到0.1um=0.0000001mm  (價格&精度成正比)
雷射干涉儀的補正,最終精度達到5um(0.000005mm)最算不錯了。

一看就知道光學尺大勝!!還要比什麼!?

1.如果機構本身的精度(響應)不足,使用光學尺,會更差。
命令跟實際誤差太大,持續從光學尺回授來補正發送的命令值。

2.雷射干涉儀補正屬於命令發送前補正,光學尺是命令動作完成後回授補正。
雷射干涉儀補正是先知先覺。
光學尺是後知後覺。

結論:
1.雷射干涉儀 適合在成本較低,精度要求在10um左右的機台。
2.使用光學尺之前,還是需要用雷射干涉儀來補正,來提高命令的精度,
再利用光學尺回授來修正位置。


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