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2026年10月26日 星期一

台積電 SoIC-X vs SoIC-P 比較:混合鍵合 3D IC 原理,從 9µm 縮到 4.5µm 間距為何關鍵


重點先講:我 2 月那支 「TSMC 晶片堆疊大戰」昨晚突然又多了上百次觀看,剛好台積電今年技術論壇把 SoIC 路線圖更新了,這篇把重點補上:SoIC-X 走無凸塊混合鍵合,拚密度和能效;SoIC-P 走微凸塊,拚成本。兩條路怎麼選,關鍵就在「接點間距」。

TSMC晶片堆疊大戰:一次搞懂 SoIC-X、SoIC-P 與 3D IC 封裝的未來

發生了什麼

  • 路線圖更新:台積電表示,9µm 間距的 N7 對 N7 SoIC 2023 年量產,6µm 版本 2025 年量產;N2 對 N2(6µm)預計 2028 年、A14 對 A14(4.5µm)2029 年量產。
  • A14 SoIC:官方新聞稿說,A14 對 A14 的晶粒間 I/O 密度比 N2 對 N2 高 1.8 倍。
  • 產能:供應鏈報導 2026 年 SoIC 月產能約 1 萬到 1.5 萬片,主力在竹南 AP6;法人估每 1 萬片產能投資約 68 到 70 億美元,遠高於 CoWoS。
  • 但也有轉向:DIGITIMES 1 月報導,嘉義 AP7 原本規劃給 SoIC 的 P2、P3 廠改做 CoWoS,因為眼前 CoWoS 缺口更大。

一句話分辨:SoIC-X 是「兩片晶片直接銅貼銅」,中間沒有焊錫球;SoIC-P 是「中間還有一排小焊錫凸塊」。前者像把兩層樓蓋成同一棟,後者像兩棟樓之間搭很多小天橋。

工程重點 1:SoIC-X 和 SoIC-P 到底差在哪

SoIC-X 是無凸塊(bumpless)堆疊:晶片表面做出平整的銅墊和介電層,對準後直接鍵合,銅和銅經過退火擴散接在一起,訊號再經過很細的 TSV 往下走。可以做晶片對晶圓,也有晶圓對晶圓版本(適合兩邊晶片一樣大、良率高的製程)。SoIC-P 則保留微凸塊,2023 年台積電介紹時是 18 到 25µm 間距,鎖定手機、IoT、客戶端這類成本敏感的產品;後續路線圖從 25µm 面對背,走向 16µm 面對面。簡單說:X 拚性能、P 拚價格。

工程重點 2:為什麼間距縮一點就差很多

接點是排成格子的,所以每平方毫米的接點數大約跟間距平方成反比。用最理想的方格去算(示意,不是實際可用 I/O 數):25µm 約 1,600 個/mm²、16µm 約 3,900、9µm 約 12,300、6µm 約 27,800、4.5µm 約 49,400。從微凸塊 25µm 到混合鍵合 6µm,理論密度差約 17 倍。接點多,就能用「很多條慢而短的線」取代「少數幾條快而長的線」,每傳 1 bit 的能量也跟著下降。AMD 在 MI300 的封裝論文就寫,混合鍵合比微凸塊互連密度高 15 倍以上、互連能效高 3 倍以上。Broadcom 也舉過實際數字:面對背約 1,500 訊號/mm²,面對面約 14,000 訊號/mm²。

工程重點 3:良率、散熱和 KGD,才是真正的門檻

混合鍵合沒有焊錫可以「吃掉」誤差,所以表面要極平、極乾淨,一顆微粒就可能造成一片空洞;對準精度也要跟著間距一起縮。第二是良率相乘:兩顆晶粒疊在一起,只要其中一顆壞,整組就報廢,所以晶片對晶圓的做法會先挑出測試合格的晶粒(KGD)再疊。但細間距接點本身很難用探針測,測試策略要事先設計。第三是散熱:上層晶片的熱要穿過下層才能散掉,邏輯疊邏輯時熱點會互相加熱,這也是 AMD 早期 3D V-Cache 要把快取放在 CCD 上方並限制頻率的原因之一。這些都會反映在成本上,所以法人估 SoIC 每萬片的資本支出遠高於 CoWoS。

工程重點 4:SoIC 加 CoWoS/InFO,才是完整的 3D IC

SoIC 本身只解決「垂直疊」。疊好的晶片在外面看起來就像一顆普通 SoC,再放進 CoWoS(2.5D 中介層,旁邊擺 HBM)或 InFO(手機常用的扇出封裝),就成了 3D IC。AMD MI300 就是例子:運算晶粒用 SoIC 疊在 I/O 晶粒上,再放到 CoWoS 中介層旁接 HBM,AMD 自己叫它 3.5D。往後看,供應鏈報導 NVIDIA 2028 年的 Feynman 世代會大幅提高 SoIC 用量,TrendForce 引述報導說 Apple M5 Pro/Max 也開始採用台積電 SoIC 相關封裝。至於 HBM 本身的堆疊,我們 10/21 已經寫過,這裡不重複。

還缺什麼/待核

  • 每平方毫米接點數是用理想方格算的示意值,實際可用的訊號數會因電源、接地和冗餘接點而少很多。
  • 2024 年論壇的舊路線圖曾寫 2027 年 3µm,今年官方說法是 2029 年 4.5µm(A14 對 A14),兩者口徑不同,本文以 2026 年官方資料為準。
  • 2026 年產能、每萬片投資金額、NVIDIA 與 Apple 採用情形,都是供應鏈或媒體報導,台積電沒有正式公布。

影片連結

主影片:TSMC晶片堆疊大戰:一次搞懂 SoIC-X、SoIC-P 與 3D IC 封裝的未來

▶ 看完整影片(@vkinng)

延伸觀看:你以為 TSMC 的 CoWoS 只有一種嗎?其實是三種!(CoWoS-S/R/L)、銅線撐不住了!硬核拆解「矽光子」與 CPO 終極封裝(台積電 COUPE 光引擎也是用 SoIC 疊的)。

你覺得下一代 AI 晶片會全面走 SoIC-X 混合鍵合,還是成本壓力會讓 SoIC-P 和 CoWoS 撐更久?留言聊聊。

2026年10月21日 星期三

HBM4 16層堆疊原理|775微米塞進16顆DRAM,為何鍵合與散熱才是真瓶頸


重點先講:我們在「記憶體為什麼一直漲」那支影片講過:HBM 搶走了大量 DRAM 晶圓產能。到了 HBM4 這一代,問題又往下走了一層。頻寬規格已經翻倍,真正卡住出貨的是堆疊高度、鍵合良率和散熱。10 月這兩週的消息剛好把這件事攤開來:NVIDIA Rubin 主力可能只用 12 層,16 層要等良率和封裝產能跟上。下面拆四件事。文中的換算是我自己的算術示意,不是廠商數據。

發生了什麼

  • 10/9 Korea Herald(引 Counterpoint):Vera Rubin 多數產品預計用 12 層 36GB HBM4,不是先前傳的 8 層。SK 海力士 1 月 CES 發表 16 層 48GB,第二季開始向大客戶量供 HBM4;三星 2 月起出貨 HBM4(12 層最高 36GB)。供應鏈追蹤機構稱 SK 海力士已量出 16 層給 Rubin,但公司未證實。
  • 10/12 TrendForce(引 Chosun Biz、ETNews):現在 AI 封裝的中介層(interposer)面積已約是 EUV 單次曝光上限 858 mm² 的 5.5 倍,未來可能到 9 倍、12 倍甚至 40 倍。三星為 HBM4E 準備混合銅鍵合(HCB)與 HPB 散熱路徑;SK 海力士的 iHBM 宣稱熱阻降約 30%。
  • 10/16 vlsi.kr 分析:截至 10 月,HBM4 量產仍用傳統凸塊:三星 TC-NCF、SK 海力士 MR-MUF;混合鍵合最快 2027 年在部分 HBM4E 導入。
  • 10/15 SEMICON West(The Elec 10/19 報導):韓國設備商 Shindo 提出把 GPU 疊在 HBM 正上方、中間夾約 200 微米玻璃陶瓷中介層、上下兩面都水冷的 3D 架構,已送樣給部分廠商。

HBM 是什麼結構?一顆 HBM 是把多片 DRAM 晶粒直立疊在一顆邏輯基底晶粒(base die)上,層與層之間用TSV 矽穿孔貫通訊號與電源,再用微凸塊或混合鍵合黏起來。整疊 HBM 和 GPU 並排放在中介層上(台積電 CoWoS 就是這種 2.5D 封裝),最上面壓一塊散熱冷板。

工程重點 1:頻寬翻倍,代價是線變兩倍多

JEDEC 的 HBM4 標準(JESD270-4)把介面從 1024 位元加寬到 2048 位元,每腳最高 8 Gb/s,算起來 2048 × 8 Gb/s ≈ 2 TB/s;通道數從 16 增加到 32。廠商實際做得更快:三星用 4 奈米邏輯基底晶粒,宣稱單顆 3.3 TB/s,換算約每腳 12.9 Gb/s(作者換算)。容量也直接是乘法:24 Gb 晶粒疊 12 層是 36GB、疊 16 層是 48GB;標準上限是 32 Gb 疊 16 層的 64GB。腳位加倍代表每一層要對準、導通的接點也大幅增加,這正是鍵合良率吃緊的起點。

工程重點 2:775 微米裡塞 16 片 DRAM

JEDEC 把 HBM4 的封裝高度放寬到 775 微米(HBM3E 是 720 微米),目的是讓冷板能同時平貼 GPU 和 HBM。高度固定,層數變多,每片只能更薄:vlsi.kr 整理的數字是 12 層每片約 50 微米、16 層約 30 微米。算一下:12 × 50 = 600 微米,16 × 30 = 480 微米,16 層的矽總厚度反而比較薄,因為多出來的 4 層鍵合介面也要吃掉高度預算(作者換算)。晶粒薄到 30 微米,加熱冷卻時翹曲(warpage)更難控制,任何一層接點失效,整疊就報廢。這也解釋了為什麼 Rubin 主力先用 12 層:不是 16 層做不出來,是良率和成本還沒到位。業界報導 JEDEC 也在討論把下一階段高度放寬到 825–900 微米(提案階段,待核),等於再替傳統凸塊延壽一代。

工程重點 3:熱要穿過 16 道「保溫層」

HBM 的熱源不只在 DRAM。TrendForce 引述三星說法,基底晶粒裡負責和 GPU 高速傳輸的 D2D PHY 是主要熱點之一。熱要往上走,得穿過每一層矽和每一層鍵合介面。矽導熱很好(約 150 W/m·K),但凸塊之間填的高分子底填料或 NCF 膠膜大約不到 1 W/m·K(教科書量級),所以每一道鍵合層都像一層薄保溫棉,層數越多熱阻越大。解法有兩條:一是把介面拿掉,混合鍵合讓銅墊直接對銅墊,沒有凸塊間隙,三星宣稱 HCB 熱阻比傳統熱壓鍵合低 20% 以上(自家比較);二是幫熱點開專用通道,三星 HPB 和 SK 海力士 iHBM 都是在 D2D PHY 周圍做高導熱、電性絕緣的散熱路徑,SK 海力士估熱阻降約 30%。

工程重點 4:瓶頸往封裝層級移動

單顆 HBM 解決了,整個封裝還有更大的問題。中介層已經約是 858 mm² 光罩上限的 5.5 倍,換算約 4,700 mm²(作者換算);台積電 CoWoS-S 的中介層上限約 3.3 倍光罩(約 2,700 mm²),更大的要改用 CoWoS-L/R。面積越大,翹曲、良率和產能壓力越大,Korea Herald 引述的業界說法也是:記憶體做得出來,還得看台積電封裝產能跟不跟得上。Shindo 的垂直方案想從另一個方向解:GPU 和 HBM 上下疊,走線最短,但兩顆熱源疊在一起,所以必須上下兩面同時水冷;它用可調熱膨脹係數的玻璃陶瓷來壓翹曲。這目前只是概念加送樣,Shindo 過去沒有半導體基板經驗。我的推論是:2026–2027 年的勝負,看誰能用現有鍵合把 12/16 層的良率做上去;混合鍵合和 3D 垂直堆疊是 HBM4E/HBM5 之後的事。

還缺什麼/待核

  • SK 海力士 16 層 HBM4 是否已量產出貨給 Rubin,公司未證實。
  • 三星 HCB「熱阻低 20% 以上」、SK 海力士 iHBM「約 30%」都是廠商說法,量測條件未公開,無法直接比較。
  • JEDEC 放寬到 825–900 微米目前只見於產業分析,尚無正式標準文件。
  • Shindo 3D 架構沒有公開熱模擬或良率數據。
  • 文中每腳速率、總厚度、中介層面積與材料導熱係數為作者換算或教科書量級,不是廠商數據。

相關影片

今天想問你:你覺得 HBM 的下一個突破會先來自混合鍵合、更好的散熱材料,還是乾脆把 GPU 和記憶體垂直疊起來?留言說說你的理由。